Вход
Имя пользователя:
Пароль:
Запомнить меня

Зарегистрируйтесь, чтобы получить доступ к форуму, чату, комментированию статей и написанию собственных статей. Для регистрировавшихся на форуме ранее сейчас регистрироваться не надо.
Регистрироваться!!!

Забыл пароль?
Сервер World Of Warcraft
Имя пользователя:
Пароль:
Повторите пароль:
E-mail:
Сейчас на сайте:
Всего: 215
0 юзеров | 215 гостей

Рекорд: 396 на February 25, 2009 в 09:19 AM.
Последние посты
Баги с квестамиvelasces
Патчvelasces
Баги другого родаKimo
какую музыку слушают
игроки на форсемите?
velasces
Поднимем онлайн!Dvorf
Ульдуар.Kimo
ПЕРЕНОС ЧАРОВ С
ДРУГОГО СЕРВЕРА.
Dvorf
РЕЙТЫ НА ПРОФЫsanekXXL
ОПРОС:Наши Рейты!TABURETNIK
ОПРОС:Что оставить и
что убрать?
StyX
юмор wowsanekXXL
Баги с персонажами и
аккаунтами
Psycho
С Днем Системного
Администратора!
Aбвгдe
ASCII GeneratorVan
Баны игроковNighter
Sponsor links:
[Soft & Game]Toshiba анонсировала поставки автомобильных модулей флэш-памяти UFS 2.1 объемом 256 ГБ
[Soft & Game]Представитель Европейского центрального банка призвал регулировать Bitcoin
[Soft & Game]Слухи: смартфон Honor 9 Lite превзойдет Honor 9 по размеру и разрешению экрана
[Soft & Game]Более 460 моделей ноутбуков HP поставлялись с клавиатурным шпионом
[Soft & Game]Xiaomi представила новые наушники с технологией шумоподавления
[Soft & Game]Видеокарту Nvidia Titan V проверили майнингом
[Soft & Game]Опубликованы живые изображения смартфона Nokia 6 нового поколения
[Soft & Game]ОС Android Oreo занимает 0,5% соответствующего рынка
[Soft & Game]Появились новые сведения о видеокамере Axiom, разрабатываемой как открытый проект
[Soft & Game]Synaptics начала массовое производство сканеров отпечатков пальцев, предназначенных для расположения под поверхностью экрана смартфонов
[Soft & Game]Synaptics начала массовое производство сканеров отпечатков пальцев, расположенных под поверхностью экрана смартфонов
[Soft & Game]Разрешение нового дисплея для устройств VR, создаваемого Google и Sharp, в 10 раз превосходит существующие решения
[Soft & Game]DisplayHDR — первая открытая спецификация HDR
[Soft & Game]На приложения в App Store теперь можно оформлять предварительный заказ
[Soft & Game]Смартфон Elephone S9 Pro получит модуль NFC и поддержку беспроводной зарядки
[Soft & Game]Ford считает гибриды лучше электромобилей, если говорить о беспилотном вождении
[Soft & Game]Опубликована фотография задней панели смартфона Xiaomi Mi Mix 3
[Soft & Game]Доход китайских разработчиков микросхем за год вырос на 22%
[Soft & Game]В линейку флагманских смартфонов Xiaomi Mi 7 все-таки войдут две модели?
[Soft & Game]Завтра Huawei может представить смартфон Honor Magic 2
По теме:
Сканер ASML 3400B предназначен для серийного производства полупроводниковой продукции с использованием EUV
От ixbt
Опубликовано: March 2, 2017

На завершающейся сегодня в Сан-Хосе конференции SPIE Advanced Lithography компания ASML представила сканер NXE:3400B, предназначенный для серийного производства полупроводниковой продукции с использованием литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне (EUV).

Массовое внедрение EUV на производствах ожидается к 2020 году

Поставки NXE:3400B начинаются на этой неделе. Это первый EUV-сканер ASML, подходящий для серийного производства, поскольку его проектная производительность составляет 125 пластин в час. Пока, правда, удалось получить показатель 104 пластины в час, поскольку используется источник излучения мощностью 148 Вт. Однако производитель рассчитывает со временем увеличить мощность до 210 Вт, что позволит выйти на заданную отметку. И хотя для производительности 125 пластин в час считается необходимой мощность 250 Вт, конструкторам удалось найти другой резерв — повышение скорости манипуляций с пластинами внутри машины.

Отсутствие источников излучения большой мощности препятствует развитию EUV, так что пока эта технология, по крайней мере, втрое отстает от иммерсионной литографии по пропускной способности оборудования. Вместе с тем, EUV является более перспективной с точки зрения перехода к более тонким нормам техпроцесса. Массовое внедрение EUV на производствах ожидается к 2020 году. Пока во всем мире установлено всего 14 таких систем.

Источники: CDR info, ASML

[Читать далее...] Показать Каменты (0)