Вход
Имя пользователя:
Пароль:
Запомнить меня

Зарегистрируйтесь, чтобы получить доступ к форуму, чату, комментированию статей и написанию собственных статей. Для регистрировавшихся на форуме ранее сейчас регистрироваться не надо.
Регистрироваться!!!

Забыл пароль?
Сервер World Of Warcraft
Имя пользователя:
Пароль:
Повторите пароль:
E-mail:
Сейчас на сайте:
Всего: 158
0 юзеров | 158 гостей

Рекорд: 396 на February 25, 2009 в 09:19 AM.
Последние посты
Баги с квестамиvelasces
Патчvelasces
Баги другого родаKimo
какую музыку слушают
игроки на форсемите?
velasces
Поднимем онлайн!Dvorf
Ульдуар.Kimo
ПЕРЕНОС ЧАРОВ С
ДРУГОГО СЕРВЕРА.
Dvorf
РЕЙТЫ НА ПРОФЫsanekXXL
ОПРОС:Наши Рейты!TABURETNIK
ОПРОС:Что оставить и
что убрать?
StyX
юмор wowsanekXXL
Баги с персонажами и
аккаунтами
Psycho
С Днем Системного
Администратора!
Aбвгдe
ASCII GeneratorVan
Баны игроковNighter
Sponsor links:
[Soft & Game]Симптомы СДВГ в подростковом возрасте связали с частым использованием гаджетов
[Soft & Game]Системная плата Biostar H310MHC предназначена для домашних и офисных ПК начального уровня
[Soft & Game]MSI намекает на выпуск процессоров AMD AM4 с числом ядер более восьми
[Soft & Game]Представлен смартфон Xiaomi Mi Max 3
[Soft & Game]Представлено стекло Corning Gorilla Glass 6
[Soft & Game]Характеристики и изображения камеры Fujifilm XF10 появились накануне анонса
[Soft & Game]Tesla Model S из сервиса такси Tesloop проехала свыше 640 000 км
[Soft & Game]Глава Google прокомментировал решение Еврокомиссии оштрафовать компанию на 4,3 млрд долларов
[Soft & Game]Смартфон LG V40 действительно может получить «идеальную» тройную камеру
[Soft & Game]У смартфона BlackBerry KEY2 появится более доступная и яркая модификация
[Soft & Game]Bitcoin за сутки резко подорожал, как и многие другие криптовалюты
[Soft & Game]Samsung и LG решили придерживаться «стратегии дробовика»
[Soft & Game]В Rolls-Royce представляют, что двигатели самолетов будут обслуживать роботы-змеи и роботы-жуки
[Soft & Game]Изображения планшета Samsung Galaxy Tab A 8.0 (2018) указывают на наличие закруглённого защитного стекла
[Soft & Game]Apple просчиталась с охлаждением, и новый ноутбук MacBook Pro с CPU Core-i9 8950HK из-за перегрева отстаёт даже от прошлогодней модели
[Soft & Game]HTC тоже хочет выпустить игровой смартфон
[Soft & Game]Samsung выпустит складной смартфон с гибким экраном в начале будущего года
[Soft & Game]Прототип хромбука на SoC Qualcomm Snapdragon существует
[Soft & Game]По подсчетам Strategy Analytics, почти каждый второй смартфон оснащен виртуальным помощником
[Soft & Game]Расходы на роботов и дронов в этом году приблизятся к 100 млрд доллпров, а в 2022 году превысят 200 млрд долларов
По теме:
Сканер ASML 3400B предназначен для серийного производства полупроводниковой продукции с использованием EUV
От ixbt
Опубликовано: March 2, 2017

На завершающейся сегодня в Сан-Хосе конференции SPIE Advanced Lithography компания ASML представила сканер NXE:3400B, предназначенный для серийного производства полупроводниковой продукции с использованием литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне (EUV).

Массовое внедрение EUV на производствах ожидается к 2020 году

Поставки NXE:3400B начинаются на этой неделе. Это первый EUV-сканер ASML, подходящий для серийного производства, поскольку его проектная производительность составляет 125 пластин в час. Пока, правда, удалось получить показатель 104 пластины в час, поскольку используется источник излучения мощностью 148 Вт. Однако производитель рассчитывает со временем увеличить мощность до 210 Вт, что позволит выйти на заданную отметку. И хотя для производительности 125 пластин в час считается необходимой мощность 250 Вт, конструкторам удалось найти другой резерв — повышение скорости манипуляций с пластинами внутри машины.

Отсутствие источников излучения большой мощности препятствует развитию EUV, так что пока эта технология, по крайней мере, втрое отстает от иммерсионной литографии по пропускной способности оборудования. Вместе с тем, EUV является более перспективной с точки зрения перехода к более тонким нормам техпроцесса. Массовое внедрение EUV на производствах ожидается к 2020 году. Пока во всем мире установлено всего 14 таких систем.

Источники: CDR info, ASML

[Читать далее...] Показать Каменты (0)